| 儀器名稱： | 電子束曝光 |
| 儀器編號： | 22012325 |
| 產地： | 中國 |
| 生產廠家： | 卡爾蔡司公司 |
| 型號： | Sigma 300 |
| 出廠日期： | |
| 購置日期： | 2022-07-14 |
| 所屬單位： | 物理系>電子曝光間 |
| 放置地點： | 蒙民偉科技大樓S407 |
| 固定電話： | 010-62797291 |
| 固定手機： | 17356219197 |
| 固定email： | wangj22@mails.tsinghua.edu.cn |
| 聯系人： | 連梓臣（010-62797291,13207525383,lianzc19@mails.tsinghua.edu.cn） 李曰覃（010-66668888,15398505185,yt-li22@mails.tsinghua.edu.cn） 王君（010-0000000,17356219197,wangj22@mails.tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 微納加工 |
| 技術指標： | 加速電壓不超過30kV |
| 知名用戶： | 物理系，張浩 |
| 技術團隊： | 張金松 |
| 功能特色： | 可以拍攝電子顯微鏡照片，以及進行電子束曝光 |
樣品要求：
需要聯系管理員
預約說明：
需要聯系管理員
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 電子束曝光機時 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 1200.0 |