電子能量損失譜（ Electron energy-loss spectroscopy, EELS）
入射電子穿透樣品時，與樣品發生非彈性相互作用，電子將損失一部分能量。如果對出射電子按其損失的能量進行統計計數，便得到電子的能量損失譜。由于非彈性散射電子大都集中分布在一個頂角很小的圓錐內，適當地放置探頭， EELS 的接受效率會很高， 相比 EDS分析， EELS 的記譜時間更短， 特別是用于小束斑分析薄樣品時；另外， EDS 在探測輕元素（ Z＜11）時只有 1%的信號能接收到，且譜線重疊比較嚴重，而 EELS 的能量分辨率（ 1eV）遠高于 EDS（ 130eV），因此， EELS 在探測輕元素方面更有優勢；而且，除了對樣品進行定性和定量的成分分析外， EELS 的精細結構還可提供元素的化學鍵態、最近鄰原子配位等結構信息，這是其他電子顯微分析方法所不能比擬的。