波長范圍：（160～900）nm 化學分辨率：≤0.007nm在200nm處（分辨率和檢出限須在相同狹縫獲得） 譜線靈活性：可對分析元素的譜線進行定性、半定量和定量分析 內標校正：同時的內標校正，即內標元素和測量元素必須同時曝光 波長校正：要求使用氖燈自動校正，儀器即開即用，無需預熱 精密度：測定1ppm或10ppm標準溶液的15個元素，重復測定十次的RSD≤1.0% 穩定性：測定1ppm或10ppm標準溶液的15個元素，連續測定4小時的長時間穩定性RSD ＜2.0% 固態R.F發生器：計算機控制，直接耦合、自動調諧。頻率：40.68MHz 等離子體和進樣系統：等離子體觀察方式：雙向觀測（同時有水平和垂直）；耐HF酸進樣系統耐50%（v/v)HCL、HNO3、H2SO4、 H3PO4,20%(V/V)HF，30%（w/v)NAOH以及30%的高鹽樣品；超高靈敏度進樣系統，分析1ppm的錳標準溶液，Mn257nm譜線 的強度不少于800萬cps蠕動泵（三通道以上蠕動泵）；微機控制總氬氣消耗量小于10L/min，其中冷卻氣必須小于10L/min。