原理：ICP-MS是一個以質譜儀作為檢測器的等離子體，它的進樣部分及等離子體與ICP-OES的是及其相似的。ICP-OES測量的是光學光譜，ICP-MS測量的是離子質譜，ICP-MS除了元素含量測定外，還可測量同位素。
元素分析范圍：3號鋰(Li)-92號鈾(U)
分析特點：可以分析絕大多數金屬元素和部分非金屬元素；精確度高，檢出限可達ppb甚至ppt級別；每一種元素均有一種同位素的譜線，不受其他元素的譜線干擾，多元素測試時干擾少；可以進行多元素同時測定；潔凈程度要求高，易被污染。
