電感耦合高頻等離子體（ICP）是本世紀60年代提出，70年代獲得迅速發展的一種新型的激發光源。
等離子體是一種電離度大于0.1%的電離氣體，由電子、離子、原子和分子所組成，其正負電荷密度幾乎相等。整體呈現中性。
通常，它是由高頻發生器、等離子炬管和工作氣體等三部分組成。
高頻發生器的作用是產生高頻磁場以供給等離子體能量。感應圈一般是以圓形或方形銅管繞成的2～5匝水冷線圈。
等離子矩管由三層同心石英管組成。外層石英管氣流Ar氣從切線方向引入，并螺旋上升，其作用有：第一，將等離子體吹離外層石英管的內壁，以避免它燒毀石英管；第二，是利用離心作用，在炬管中心產生低氣壓通道，以利于進樣；第三，這部分Ar氣流同時也參與放電過程。中層石英管做成喇叭形，通入Ar氣，起作維持等離子體的作用。內層石英管內徑為1～2mm左右，載氣帶著試樣氣溶膠由內管注入等離子體內。試樣氣溶膠由氣動霧化器或超聲霧化器產生。
Ar做工作氣體的優點： Ar為單原子惰性氣體，不與試樣組分形成難離解的穩定化合物，也不會像分子那樣因離解而消耗能量，有良好的激發性能。本身光譜簡單。