（1）測量變換電路引入誤差：電能質量分析儀工作時，電網中電壓、電流信號需分別經過電壓互感器(Potential Transformer，PT)、電流互感器(Current Transformer，CT)送入電能質量分析儀，因此PT、CT的比例誤差和相角誤差直接影響到測量結果的準確度。當電能質量分析儀工作在諧波條件下，PT、CT相角誤差發生改變，對各次諧波電壓、電流的轉換比例不一致，輸入ADC的被測信號發生變形，測量誤差增大。
（2）ADC量化誤差：ADC量化誤差指輸入信號進行模數轉換時，用有限的數字信號來表示無限精度的模擬信號所造成的誤差。電能質量分析儀常采用12位或16位的ADC，且ADC位數越大，其轉換精度越高，量化誤差越小。
（3）其他誤差：包括環境溫度、相對濕度等因素導致硬件電路產生的誤差，電子器件以及線路老化等因素致使測量結果產生的誤差。