上世紀80年代,用敷氧化釔銥絲代替BA計中的鎢絲做出DL-7型BA計規管[4]。它的測量范圍是5×lO-8~10-1 Pa,與鎢絲的BA計相比,它更適合在較高壓強下工作。
同在80年代,有人將敷氧化釔銥絲代替DL-2型規管中的鎢絲,做成DL-9型規管[5],使上限壓強擴展一個數量級,測量范圍為10-5~1 Pa。在研究吸氣劑性能時,應在小發射電流下工作,以減小電離計的吸氣效應。在有害氣氛下工作用小發射電流可以延長燈絲壽命。
電離計的誤差為[1]:10-8~10-1 Pa,△=±70%;10-5~10-1 Pa,△=土50%;10-3~10 Pa,△=±50%。
單片機問世后不久,就開始用單片機控制電離真空計[6]。單片機操作代替了原電路中的調零點、調滿偏、調發射、換量程等手工操作,并有諸多功能板,例如RS232串口,模擬量輸出等可與計算機聯機,真空計還可以用單片機設置輸出信號。