直播預告|中國科學院上海微系統所研究員李鐵報告

直播時間：2024年8月9日（周五）20:00-21:30

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北京時間2024年8月9日晚八點，iCANX Talks 第198期邀請到了中國科學院上海微系統所研究員Tie Li，武漢大學教授Guoqiang Wu、上海微系統所研究員Lijuan Liang進行分享！此外，北京大學Haixia Zhang教授擔任嘉賓，電子科技大學Xiaosheng Zhang教授擔任主持人。

這將是一場匯聚頂尖學者的盛會，共同探討前沿科技與學術挑戰！更多精彩，敬請期待！

【嘉賓介紹】

李鐵

上海微系統所

From MEMS to nano fabrication and nano sensors

【Abstract】

As origin of information in real world, high performance sensors are important not only to our human beings but also to smart robotics. Nano-structured materials have made it possible to form sensors at ultra-high performance. However, mass production at low cost is always desirable but not achieved in current time. In this talk, we will review our work of design and fabrication of nano structures in wafer level by MEMS technology, its integration with micro transducers and the corresponding high-performance nano sensors. With highly selective CMOS techniques, silicon nanowires (SiNWs) with narrow width (~20nm) were top-down fabricated on silicon-on-insulator (SOI) wafer, which is very useful to a simple, portable and rapid detection platform for bio/chemical detection. While, with the integration between micro-hotplate and nano-ordered sensing materials, gas sensor chips can be produced with high sensitivity, fast response time, and low power consumption. The proposed work represents a versatile approach for wide application of wafer-level fabricated sensors with high performance.

作為現實世界中的信息來源，高性能的傳感器不僅對人類很重要，對智能機器人也很重要。納米材料使制造超高性能的傳感器成為可能。然而，低成本、大規模的傳感器制造急需但遠未實現。在本文中將綜述我們通過MEMS技術在晶圓級設計和納米制造方面的工作，以及實現微換能器和高性能納米傳感器的集成。利用高選擇性的CMOS技術，在絕緣體上硅（SOI）晶片上我們采用自上而下的方法制造了小尺度（~20nm）的硅納米線（SiNW），并進而實現了簡單、便攜、快速的生物/化學檢測平臺。同時，通過微熱板和納米有序傳感材料的集成，生產出具有高靈敏度、快速響應時間和低功耗的氣體傳感器芯片。這些方法為未來高性能晶圓級納米制造及納米傳感器的應用提供了一種通用方法。

【BIOGRAPHY】

Prof. Tie Li received his BS and PhD degrees from University of Science and Technology of China, Hefei, in 1992 and 1997, respectively. He then was a Post-doctor at Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology. He was a visiting scholar at Delphi Research Labs for 18 months from 2002. He is currently a Professor in Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology. He has published over 200 papers on Nano Letters、Small、Carbon、IEEE EDL etc., and owned 75 Chinese patents， 1 Japan Patent and 3 US Patent. His research interests include design, fabrication and application of Micro and Nano sensors.

李鐵，博士，博士導師，中國科學院上海微系統與信息技術研究所二級研究員，科技處處長，微系統技術重點實驗室副主任，上海市東方英才領軍人才，上海市優秀學術帶頭人。現任上海市傳感技術學會副理事長、Transducers、IEEE MEMS國際會議TPC成員等職。承擔國家重點研發計劃課題、國家973、國防973、863、國家重大科技專項課題、國家創新研究群體科學基金、國家自然科學基金、中國科學院項目等國家省部級項目80余項。在硅基熱電器件及模組、硅納米線制造及器件等方面開展系統研究并實現應用。在Nano Letters等發表論文200余篇，獲中國發明專利75項、美國專利3項、日本專利1項。獲國家技術發明二等獎、上海市技術發明一等獎/二等獎、上海市科技進步二等獎、美國汽車電子學會（SAE）Arch T. Colwell Merit 獎。被評為“中國科學院優秀研究生導師”，指導的博士生獲得“中國科學院院長特別獎”和中國科學院百篇優秀博士論文。