真空手套箱箱體內的工作氣體在箱體與凈化柱（水氧吸附器）之間，在PLC的控制和監視下，通過管道、循環風機等進行密閉循環。工作氣體循環經過凈化柱時其所含水分和氧氣被吸附掉，然后再返回箱體內，隨著循環時間的推移，箱體內工作氣體中的水氧含量逐步減少，最終達到小于1ppm的指標。凈化柱在一定時間的循環后會吸附飽和，可進行再生，重復使用。
分子篩吸水物理過程
當溫度較低時T1,分子篩水飽和量C1就高，可以大量吸水。
當溫度較高時T2,分子篩水飽和量C2就低，吸附的水就會先放出來，蒸發出去。通過加熱抽真空實現分子篩的再生。