從原理上講，一般手動真空調節閥，配上適當的控制電機（如伺服電機、步進電機等）或液壓缸，通過調節控制電機或液壓缸的控制信號，使控制電機或液壓缸動作，從而改變真空閥的流導，于是改變了流過真空閥的氣體流量，完成在真空裝置中真空室的真空度的自動調節。但是，目茼我國真空儀器廠家生產的真空氣體流量調節閥僅有電磁調節式、質量流量計式及壓電式三種，而國產壓力控制儀多選用壓電閥作為真空氣體流量調節元件。
壓電閥是利用壓電效應制成的一種真空氣體流量調節閥。壓電閥的核心部件是由壓電陶瓷制成的具有壓電特性的膜片。當在壓電陶瓷膜片上施加一控制電壓時，它將會產生正比于外加電壓值大小的變形。同時，帶動密封墊移動。于是壓電閥流導產生變化，從而改變氣體通過壓電閥的流量。當壓電陶瓷膜片上未施加控制電壓時，由于彈簧的機械力作用在壓電陶瓷膜片和密封墊上，使壓電閥氣路關閉。因而，可以通過改變施加在壓電陶瓷膜片上的控制電壓的大小，來改變壓電閥的流導，從而改變流過壓電閥的氣體流量。于是，可實現真空裝置的真空室中的真空度調節。