表面涂敷
為避免制造過程中氧化、便于焊接或減小使用時的高頻損耗，某些零件要在表面鍍鎳、銅、金或銀等。還有的零件須預先涂敷特殊涂層，如微波管內用的衰減器可用碳化、石墨噴涂或真空蒸發、濺射等方法涂敷一層高頻衰減材料。有的零件還須涂敷某種材料，如碳化鉭等，以提高表面逸出功，降低次級發射。
部件的制造與測試
為保證器件各電極能按設計要求，準確、可靠地裝配起來，預先制成幾個部件和組件。對部分組件須進行電氣參數的測試（亦稱冷測），構成管殼的組件則須經過氣密性檢驗，合格后才能總裝。主要制造工藝有裝架、封接、焊接和測試等。
裝架
把零件裝配成陰極、電子槍、柵極、慢波電路、陽極或收集極等組件，或進一步裝配成待封口的管子。裝架時采用的焊接方法有點焊、原子氫焊、激光焊及超聲焊。有時也采用微束等離子焊、電子束焊和擴散焊。