①排氣式結構，共同特點是有排氣管，需要通過真空排氣臺進行排氣。銜鐵動作機構位于真空系統內部，控制電流流過線圈產生的電磁力使置于真空內的鉸鏈銜鐵動作，帶動動觸點動作，完成開斷或接通動作。
②膜片式結構，特點是不需要進行排氣，其真空系統通過真空焊接爐直接獲得，銜鐵機構位于真空室外，銜鐵的運動通過彈性密封膜片傳入真空室內部。
真空繼電器是利用真空技術德爾繼電器。使用磁路部分零件，磁路部分的主要作用是將電的變化變成磁的變化并將它傳遞到銜鐵部分。由于這一部分經常需要將真空與大氣隔開，所以對原材料的組成、密封部位的尺寸有較高要求。真空繼電器可在低真空（0.1-100kPa)范圍內方便地實現真空度的控制，可滿足廠礦企業和科研單位對真空設備的自動控制和自動保護的需要。它克服了差壓式儀表（如：真空電接點表等）控制精度低、可靠性差、設定值隨著環境大氣壓而變化等致命弱點。