真空鍍膜設備真空裝置自動控制中,往往要進行真空測量,由于真空裝置種類繁多、工作壓力范圍也不盡相同,因此,從105Pa—10-5Pa各真空區域的真空測量塢會遇到。通常使用的真空計有電阻真空計、熱偶真空計、電容薄膜真空計、電離真空計、超高真空計等。為了拓展真空計的功能,真空儀器廠家還生產包括遙控遙測、模擬量輸出、RS -232C等通信接口、壓力調節等功能模塊板供用戶選配。
因此,一個配置齊全的真空計,不僅能進行真空度測量、數字顯示、量程自動切換、誤差自動修正,而且能在壓力設定點發出控制信號去進行壓力控制,按設定壓力值進行壓力自動調節,還能將測量值打印記錄,并與上位機進行通信聯系,甚至還能進行遠距離真空測量與控制。