擴散泵不是需要預熱、而是需要加熱，這是擴散泵的工作原理，跟處于什么工藝下進行沒有關系。
擴散泵屬于增壓泵，單獨是不可以使用的，必須串聯機械泵，如旋片泵、滑閥泵等。
擴散泵的工作條件是全壓強小于10pa才可以開啟加熱爐。
擴散泵沒有電機，是通過電爐加熱使油蒸發，然后冷凝的一個往復運動，期間將空氣通過機械泵排出，這是擴散泵的工作原理。
一邊情況下我們建議：機械泵的全壓強真空度達到2pa以內，開啟電爐，后經過40-80分鐘的加熱擴散泵進行正常的工作。（加熱期間真空度也在提升。開始階段如5-10分鐘時真空度可能下降）