等離子體光譜儀是通過線圈磁場達到高溫使樣品的狀態呈等離子態然后進行測量的，要比普通直讀光譜儀器的檢出限小，精度高，但是在進樣系統上要求非常嚴格。由燈源、光闌、干涉儀、樣品室、檢測器以及各種反射鏡、數據處理系統等組成。
高頻振蕩器發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氫氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。
等離子體光譜儀特點：
(1)以電荷耦合器件陣列作為檢測器，對光譜的掃描不必移動光柵，可進行瞬態采集，響應速度很快，并通過計算機實時輸出。
(2)采用全息光柵作為分光器件，雜散光低，提高了測量精度。
(3)應用計算機技術，很大地提高了光譜儀的智能化處理能力。