等離子體去膠機,是在(RIE)反應離子刻蝕機的基礎上簡化改進而來,為小型等離子去膠機,具有體積小,性能優良、用途多、工藝速率高、均勻性及重復性好、價格低、使用方便等特點。是各電子器件企業及科研單位、大專院校的機型。適合于微電子制作工藝中光刻膠的去膠工藝,同時有RIE刻蝕功能,可以刻蝕Si、SiO2、SiN。已出口國外。
整機基本配置和性能:
1.激勵電源:13.56MHz 500W;帶匹配器和功率計各1臺(自動匹配可選),帶定時器1臺。
2.真空系統:8升/秒機械泵1臺。帶真空計。
3.載片臺尺寸:Ф220mm ,一次可放3片4英寸片或者4片3英寸片。
4.氣路系統:2路進氣;2個質量流量計,2路顯示。
5.手動控制(可以選擇配置工藝過程自動控制)。
6.均勻性:±5% (4英寸內)
項目概況秦皇島監測中心監測能力建設招標項目的潛在投標人應在在河北省公共資源交易服務平臺(http://ggzy.hebei.gov.cn/hbggfwpt/)網上報名,下載招標文件及相關資料,并及時查......
近日,廣東省佛山生態環境監測站發布了2024年電感耦合等離子體質譜儀及配套系統帶量采購項目結果公告。中國檢驗檢測學會測試裝備分會會員單位衡昇質譜中標3臺ICPMS,型號為iQuad2300。中國檢驗檢......
副溶血弧菌(VP)是普遍存在于海洋環境中的嗜鹽性革蘭氏陰性細菌,是全球集約化海水養殖業中常見的致病菌,對水產養殖業等造成威脅。目前,抗生素是海水養殖業預防和控制副溶血性弧菌感染的主要手段,但抗生素大量......
一項5月29日公布于預印本平臺arXiv的研究,對漂浮在宇宙中的混沌超音速等離子體進行了最詳細的模擬,揭示了復雜的漩渦磁場圖。等離子體的結構,圖中用不同顏色代表了不同的電荷密度和氣體密度。圖片來源:J......
記者24日從中國科學院云南天文臺獲悉,該臺研究人員近期揭示了太陽低層大氣多溫小尺度熱爆發的形成機制。國際期刊《天文學和天體物理學》發表了相關研究成果。埃勒曼炸彈和紫外暴,是普遍存在于太陽低層大氣中的兩......
2024年5月15日,珀金埃爾默(PerkinElmer)在上海舉辦主題為“創新不止,探索無界”的新品發布會,正式發布NexION?1100/2200系列電感耦合等離子體質譜儀、Pyris?STA9/......
共價金剛石-石墨材料集合了金剛石和石墨的性質優勢,能夠實現超硬、極韌、導電等優越性能組合,在超硬和電子器件領域具有研究和發展價值。目前,由于金剛石-石墨共價界面能高,主要通過高溫高壓方法活化碳原子以實......
中國科學技術大學潘建偉、陸朝陽、陳明城教授等利用基于自主研發的等離子體躍遷型超導高非簡諧性光學諧振器陣列,實現了光子間的非線性相互作用,并進一步在此系統中構建出作用于光子的等效磁場以構造人工規范場,在......
一、項目基本情況項目編號:KY2024-3-015項目名稱:電感耦合等離子體質譜儀采購項目采購方式:公開招標預算金額:2,400,000.00元采購需求:詳見采購需求附件合同履行期限:采購包1:交貨期......
分析測試百科網訊ICP-MS領域,近年來出現了很多新品,近年來的主要特點包括:1、減少氬氣消耗的同時,提升靈敏度。2、強調智能化,并結合自動進樣器高通量......