等離子清洗機除了具有材料表面清洗、表面活化、表面蝕刻、表面涂層外，還有適用于煤樣以及石墨烯等樣品的材料灰化，這種工藝適用的行業比較具有針對性。
等離子灰化屬于低溫灰化，例如煤樣的灰化，通入氧氣后，由氧等離子體產生的有機物質低溫燃燒，有機物質便在常溫燃燒完畢無機化，最后只剩殘留的灰分，而殘留的這些灰分便是我們所需要分析研究的。
燃燒主要在氣相和固相界面進行，反應速度由原子狀氧的供給濃度決定，燃燒反應后會生成CO2和H2O的氣相排出，灰化時腔體內樣品傳遞的熱量幾乎不會上升會比較平穩進行，所以也稱低溫灰化。
若灰化工藝參數掌握好，樣品在適當的等離子體濃度中進行平穩灰化，樣品以灰分形式殘留下來并會像從樣品表面脫落一層薄薄的物質那樣慢慢消除，由于燃燒過程中并未加以破壞，灰分較好地保留了物質原來的形狀。
等離子灰化的幾個必要條件：
等離子設備的發生器必須是射頻以上的頻段，即13.56MHz或者2.45GHz
由于灰化的過程比一般等離子工藝過程要長，選用玻璃腔體或者石英腔體是比較合適的
灰化過程中工藝參數的控制要平穩，比如 腔體內壓力參數，等離子功率參數，氧氣進氣量參數以及灰化過程時間參數，這些參數起到至關重要的作用。