一般包括樣品導入系統,樣品臺,加熱或冷卻附屬裝置等。為了減少更換樣品所需的時間及保持樣品室內高真空,俄歇譜儀采用旋轉式樣品臺,能同時裝6-12個樣品,根據需要將待分析樣品送至檢測位置。
俄歇能譜儀的樣品要求能經得住真空環境,在電子束照射下不產生嚴重分解。有機物質和易揮發物質不能進行俄歇分析,粉末樣品可壓塊成型后放入樣品室。