型號：MSP300R 探測器：2048像素的CCD陣列 光源：直流穩壓鹵素燈 光傳送方式：光纖 自動的臺架平臺：特殊處理的鋁合金操作平臺，手動調節移動范圍為75mm×55mm 物鏡有著長焦點距離:4×，10×，50× 通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連 測量類型：反射/透射光譜、薄膜厚度/反射光譜和特性參數 計算機硬件：英特兒酷睿2雙核處理器，200G硬盤、DVD刻錄機，19”LCD顯示器 電源：110–240V AC/50-60Hz，3A 尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面設置) 重量：120磅總重 保修：一年的整機及零備件保修基本參數：
波長范圍：400nm到1000 nm 波長分辨率: 1nm 光斑尺寸：100µ；m (4x), 40µ；m (10x), 8µ；m (50x) 樣品尺寸：標準150×150mm 基片尺寸：最多可至20mm厚 測量厚度范圍: 10nm 到25 µ；m 測量時間：最快2毫秒 精確度：優于0.5%（通過使用相同的光學常數，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較） 重復性誤差：小于2 ?