電感耦合等離子體原子發射光譜的單色器通常采用光柵或棱鏡與光柵的組合。
目前較常使用的是中階梯光柵。中階梯光柵常數為微米級。
刻線密度10~80線/mm；閃爍角60°左右；入射角大于45°；常用譜級20~200級。
