紫外光電子譜的基本原理是光電效應(如圖1)。它是利用能量在16-41eV的真空紫外光子照射被測樣品,測量由此引起的光電子能量分布的一種譜學方法。忽略分子、離子的平動與轉動能,紫外光激發的光電子能量滿足如下公式:hν=Eb+Ek+Er,其中Eb電子結合能,Ek電子動能,Er原子的反沖能量。