紫外線滅菌作用，短波紫外線對微生物的破壞力極強，當該波段的紫外線照射細菌體后，細胞的核蛋白和脫氧核糖核酸（DNA）強烈地吸收該波段的能量，它們之間的鏈被打開斷裂，從而使細菌死亡。如用紫外線汞燈或金屬鹵化物燈對空氣和食品滅菌。
殺菌燈不需要轉化為可見光，250nm-260m波長能起到很好的殺菌作用，此波長區間能破壞其染色體，起到光化作用。
紫外照射劑量是指達到一定的細菌滅活率時，需要特定波長紫外線的量：照射劑量（J/m2）=照射時間（s）×UVC強度（W/m2）照射劑量越大，消毒效率越高，由于設備尺寸要求，一般照射時間只有幾秒，因此，燈管的UVC輸出強度就成了衡量紫外光消毒設備性能最主要的參數。