紅外顯微鏡的測量方式

　　紅外顯微鏡按其光路系統的差異，一般分為非同軸光路紅外顯微鏡和同軸光路紅外顯微鏡兩大類。非同軸光路紅外顯微鏡是較早推出使用的一類紅外顯微鏡，具有透射式和反射式兩種操作功能。同軸光路紅外顯微鏡是另一類紅外顯微鏡，也具有透射式和反射式兩種操作模式。也可以采用衰減全反射模式，它采用的是硅晶體。

　　根據紅外顯微鏡所測樣品的形態、性質和測試要求，可以選擇透射、反射、衰減全反射三種測試模式。透射模式是測定樣品的主要方法，可提供Z好的信噪比，適應于測試透光性較好的樣品，如厚度小于20μm的薄膜、固體切片；反射模式是效率較高的一種測試方法，適應于測定背景比較光亮、光反射較強的樣品，如微小顆粒樣片；衰減全反射模式，在某些情況下是必不可少的一種測量方法，適應于測定需進行表面成分或表面污染物分析的樣品。