優點：
l 測量范圍寬：可分析氣體上限達100%，下限達幾個 （ppm）的濃度。進行精細化處理后，還可以進行痕量 (ppb)分析（物質中含量在百萬分之一以下組合的分析方法）
l 靈敏度高：具有很高的監測靈敏度，氣體濃度有微小變化都能分辨出來
l 測量精度高：一般都在 FS（滿量程）,不少產品達到FS。與其他分析手段相比，它的精度較高且穩定性好；反應速度快：響應時間一般在10S以內（達到T90的時間）；
缺點：
l 不能分析對稱結構無極性雙原子分子及單原子分子氣體（He、Ne、Ar）
