納米壓痕儀的技術參數

　　最大加載載荷：400 mN；

　　載荷分辨率：30 nN；

　　可實現的最小載荷：1.5 μN；

　　位移分辨率：0.003 nm；

　　可實現的最小位移：0.04 nm；

　　可實現的最大位移：250 μm；

　　熱漂移：<0.05 nm/s(室溫條件下)；

　　DMA模式：20 Hz。