1. 納米顆粒都小于銅網的小孔，因此要先制備對電子束透明的支持膜。
2. 將支持膜放在銅網上，再把粉末放在膜上，送入電鏡分析。
3. 粉末或顆粒樣品制備的關鍵取決于能否使其均勻分散到支持膜上。
4. 用超聲波分散器將需要觀察的粉末在分散介質（不與粉末發生作用）中分散成懸浮液。
5. 用滴管滴幾滴在覆蓋有支持膜的電鏡銅網上，待其干燥(或用濾紙吸干)后, 即成為電鏡觀察用的粉末樣品。
6. 微米粉末樣品通過研磨轉為納米顆粒，如催化劑等。
