入射電子在樣品中受到大角度散射后反向射出背散射電子，這些背散射電子隨后入射到一定的晶面，當滿足布拉格衍射條件時，得到Bragg衍射花樣。當電子束在樣品表面做不同角度掃描時,電子束相對于某晶面的入射角在不斷改變，同時由于晶面取向和其Bragg角的值都不同，因此可以獲得一系列衍射信息圖像。對所得背散射電子衍射圖進行分析，可以確定晶體的取向，晶體間夾角，晶粒度及晶界類型，重位點陣晶界分布，織構分析以及相鑒定等。
