常用于測量導軌的直線度、平板的平面度(這時稱為平面度測量儀)等，也可借助于轉向棱鏡附件測量垂直度等。光電自準直儀多應用于航空航天、船舶、軍工等要求精密度極高的行業，例如機械加工工業的質量保證（平直度、平面度、垂直度、平行度等）、計量檢定行業中角度測試標準 、棱鏡角度定位及監控、光學元件的測試及安裝精度控制等等。
