自動真空箱氦檢漏裝置工作原理

主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成.
離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子.
分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同；在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而