| 儀器名稱： | 薄膜濺射沉積系統 |
| 儀器編號： | 16041495 |
| 產地： | 中國 |
| 生產廠家： | AJA |
| 型號： | ATC 2200-V |
| 出廠日期： | 201605 |
| 購置日期： | 201612 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝 |
| 放置地點： | 微電子所新所一樓108 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | |
| 固定email： | |
| 聯系人： | 竇維治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） 韓英（010-62782076,18601218109,hanying@mail.tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 微納加工 磁控濺射 材料制備 |
| 技術指標： | 本底真空：10e-8 torr；成膜均勻性<3%；同時裝載5個靶位； |
| 知名用戶： | 吳華強、錢鶴、宋成、薛其坤 |
| 技術團隊： | 竇維治、韓冰、魏治乾 |
| 功能特色： | 可用于制作鐵磁材料薄膜、氧化物薄膜等 |
樣品要求：
兼容4英寸、6英寸、8英寸圓片
預約說明：
實驗室的設備采用網上預約的方式、以先約先用為基本原則
取消預約需提前2個小時通過網上取消預約
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 薄膜沉積 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 450.0 | |
| 送樣 | 元/小時 | 測試費 | 450.0 |