表面粗糙度測量儀可測量平面、圓柱面、深槽和曲面的表面粗糙度、波紋度、原始輪廓和直線度參數，還可測量工件表面微觀輪廓的水平和垂直距離。
表面粗糙度測量儀主要技術指標：
1、測量原理：垂直方向為觸針法，電感傳感器；水平方向為直線光柵；
2、測量范圍：垂直400um（1200um），水平120mm；
3、Ra示值誤差：≤±5%；
4、小分辨力：垂直0.6nm，水平1um；
5、取樣長度：0.08、0.25、0.8、2.5、8mm；
6、評定長度：N倍取樣長度，N=1，2，3，4，5；
7、數字濾波器：高斯、2RC、PC、二乘、不濾波；
8、粗糙度測量參數：Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rt,Rq,Rsm,Rsk,Rku,Rdq,Rmr；
波紋度測量參數：Wa,Wc,Wp,Wv,Wz,Wq,Wsm,Wt,Wsk,Wku,Wdq,Wmr；
原始輪廓測量參數：Pa,Pc,Pp,Pv,Pz,Pq,Psm,Pt,Psk,Pku,Pdq,Pmr；
直線度測量系統測量參數：│X2-X1│，│Z2-Z1│；
9、輪廓圖形的垂直放大倍率：1-500000可選，也可手動輸入；
10、輪廓圖形的水平放大倍率：1-500000可選，也可手動輸入；
11、驅動箱滑行速度：0.2、0.5、0.8、1.0mm/s；返回速度1.5mm/s；
驅動箱滑行長度：120mm；
12、傳感器返回形式：手動/自動；
13、傳感器測針：金剛石圓錐，錐角90°，針尖半徑2μm；
14、基準導軌的直線性：1um/100mm；
15、立柱結構：快慢速機動升降系統，自動對準零位；
16、立柱垂直測量高度：300mm；
17、工作底臺：460mm×720mm大理石平臺。