故障現象：使用一段時間后，濺射電流變小
解決方法：對靶材有無變色、破裂和油污等現進行檢查。前兩者對靶材進行更換，后者被油蒸汽污染，通過無水乙醇進行清潔，等到干了以后才能夠抽真空。
故障現象：在使用一段時間以后，有著過低的真空。
解決方法：對濺射室中或管道內是否有油進行檢查，能夠使用汽油進行清洗。
故障現象：濺射電流不穩定忽高忽低
解決方法：陰極罩與靶的固定環有著過近的距離，將陰極罩逆時針旋轉，對間距進行調整。
故障現象：有著過低的真空
解決方法：將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊。
