超純水設備是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。
超純水器的操作：
1、儲水桶應當配備空氣過濾器，防止空氣通過取水口滲透進儲水桶而造成水質污染。
2、由于超純水取水后容易受到環境因素污染，所以需要用水的時候做到即去即用，盡量減少超純水與環境的接觸。
3、儲水桶應當盡量避免放置在日光直射處。
4、長時間存放在儲水桶類的超純水應當盡量避免使用，防止水因為長時間儲存導致水質下降。
5、取水使用時，應當將初的超純水排出后再用取水器皿進行取水。
6、長時間不用時，應當將壓力儲水桶內的純水全部放掉，以防止被污染。
7、每一周需要通水一次，防止細菌被污染。
8、取水時應當盡量避免產生水泡而影響水質。
超純水器的幾個常見故障分析：
1、設備不出水
①設備故障一般分為水路故障和電路故障兩類；
②設備不出水，可能是水路故障，不妨檢查下各管路是否有堵塞情況；
③也可能是電路故障，檢查下輸入電源是否正常、進水電磁閥是否正常；
④打開源水球閥，檢查RO膜前濾芯是否堵塞，如果堵塞則及時更換；
⑤檢查增壓泵泵后壓力，低于0.3MPa時需要更換。
2、儲水箱滿后增壓泵反復啟動
①源水壓力不足；
②逆止閥損毀，及時更換即可；
③高壓開關失靈；
④管路松動漏水，需要泄壓。
3、運行時噪音過大
①查看源水管路是否正常，有無斷水現象，一旦斷水增壓泵就會空轉，導致噪音過大；
②如果源水正常供給，接下來就檢查源水中是否有氣體存在；
③查看增壓泵是否震動過大、出現故障；
④檢查設備是否穩固擺放，壓縮機有無異常。
4、純水與廢水比例嚴重失調
①查看沖洗電磁閥是否損壞；
②檢查RO膜是否堵塞；
③查看廢水比例器是否堵塞，如果堵塞就會導致產出的純水過多，排出的廢水過少。