S為點光源,M1(上邊)、M2(右邊)為平面全反射鏡,其中M1是定鏡;M2為動鏡,它和精密螺絲絲相連,轉動鼓輪可以使其向前后方向移動,最小讀數為10mm,可估計到10mm,。M1和M2后各有3個小螺絲可調節其方位。G1(左)為分光鏡,其右表面鍍有半透半反膜,使入射光分成強度相等的兩束(反射光和透射光)。反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2,它們經反射后回到G1(左)的半透半反射膜處,再分別經過透射和反射后,來到觀察區域E。G2(右)為補償板,它與G1為相同材料,有相同的厚度,且平行安裝,目的是要使參加干涉的兩光束經過玻璃板的次數相等,兩束光在到達觀察區域E時沒有因玻璃介質而引入額外的光程差。當M2和M1'嚴格平行時,表現為等傾干涉的圓環形條紋,移動M2時,會不斷從干涉的圓環中心“吐出”或向中心“吞進”圓環。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時,中心就會“吐出”一個個條紋;反之則“吞進”。M2和M1'不嚴格平行時,則表現為等厚干涉條紋,移動M2時,條紋不斷移過視場中某一標記位置,M2平移距離 d 與條紋移動數 N 的關系滿足:d=Nλ/2,λ為入射光波長。
邁克爾遜干涉儀示意圖:
經M2反射的光三次穿過G2分光板,而經M1反射的光通過G2分光板只一次。G1補償板的設置是為了消除這種不對稱。在使用單色光源時,可以利用空氣光程來補償,不一定要補償板;但在復色光源時,由于玻璃和空氣的色散不同,補償板則是不可或缺的。
如果要觀察白光的干涉條紋,臂基本上完全對稱,也就是兩相干光的光程差要非常小,這時候可以看到彩色條紋;假若M1或M2有略微的傾斜,就可以得到等厚的交線處(d=0)的干涉條紋為中心對稱的彩色直條紋,中央條紋由于半波損失為暗條紋。
邁克爾遜和愛德華·威廉姆斯·莫雷使用這種干涉儀于1887年進行了著名的邁克耳遜-莫雷實驗,并證實了以太的不存在。