株式會社日立高新技術(社長:飯泉 孝/以下稱:日立高新技術)將于近期開始銷售小型探針顯微鏡AFM100系列,該系列追求操作性并提高了處理量,可用于科學研究開發以及質量管理,包括原子力顯微鏡(AFM:Atomic Force Microscope / 以下稱:AFM)高性能AFM100 Plus及其入門型號AFM100兩種機型。
AFM作為一種掃描探針顯微鏡(SPM : Scanning Probe Microscope),使用前端直徑為數納米(1納米:百萬分之一毫米)的尖銳探針掃描樣品表面,可同時實現納米級別的樣品表面的形貌觀察和物性映射評估。AFM已廣泛應用于電池材料、半導體、高分子、生物材料等各個領域的科學研究開發和質量管理。
過去,操作AFM的工序繁瑣,不僅要用鑷子夾住裝有探針且寬度約為1mm的懸臂,將其設置在裝置上,還要在懸臂前端探針掃描樣本表面時進行接觸狀態控制和掃描速度調整等步驟。因此,從開始測量到獲取數據,其間的總處理量較低。測量人員的操作熟練程度和使用感覺差異會導致測量條件設置不同,繼而引發所獲得的數據產生差異等問題。
日立高新技術此次開發的AFM100/100Plus旨在解決上述問題,推動具有高操作性的AFM裝置在工業領域和科學研究開發領域實現普及。通過使用AFM100/100Plus,任何人都能輕松且穩定地獲取可靠數據,從而完成從科學研究用途到質量管理中的日常作業。特別是AFM100 Plus,其用途十分廣泛,可用于從觀察石墨烯和碳納米纖維等納米材料,到超過0.1 mm的大范圍3D形貌觀察、粗糙度分析、物性評估等領域。
本產品的主要特點如下。
1. 提高了操作性、可靠性及總處理量
為簡化過去操作繁瑣的懸臂更換,采用新開發的預裝方式*1懸臂,提高了操作性。而且,通過配備自動向導功能,還可以根據樣品的表面形貌,自動設置最佳測量條件,對探針進行接觸狀態控制和掃描速度調整等,任何人測量都可以得到穩定的結果,從而提高了數據的可靠性。此外,該機型支持自動多點測量,只需點擊一下,從測量,到圖像數據分析、保存可一次性完成,大大縮短了數據測量分析時間。
2. 提高了與本公司SEM裝置的親和性
選配功能“AFM標記功能”通過采用日立高新技術自主開發的S?Mic.(S?Mic:AFM-SEM相關顯微鏡法)觀察方法,提高了與掃描電子顯微鏡SEM(Scanning Electronic Microscope)的親和性。在觀察樣品的同一位置時,可以充分發揮各個設備的特性,對樣品進行機械特性、電氣特性、成分分析等檢測,易于開展多方面分析。
3. 實現裝置的擴展性和持續性
為確保用戶可長期使用,該裝置標配控制軟件免費下載服務和能夠自行診斷意外故障因素的自檢功能。因此,用戶只需自己動手進行軟件升級,即可始終保持最新性能。
日立高新技術今后也會繼續提供以本產品為代表的創新解決方案,與客戶攜手創造全新社會及環境價值,為最尖端的產品制造作出貢獻。
預裝方式:在用于安裝懸臂的盒式芯片上預先安裝懸臂的方式。
■“AFM100 Plus”相關規格
項目 | AFM100 Plus |
檢測系統 | 光杠桿法 SLD(超輻射發光二極管) |
樣品尺寸 | 最大35 mmφ、厚度10 mm、選配擴展時(最大50 mm方形、厚度20 mm) |
掃描范圍 | 均為選配 XY/ Z : 20/1.5、100/15、150/5(單位 μm) |
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