對于晶體，若要研究其內部缺陷及界面，需把樣品制成薄膜，這樣，在晶體樣品成象的小區域內，厚度與密度差不多，無質厚襯度。但晶體的衍射強度卻與其內部缺陷和界面結構有關。由樣品強度的差異形成的襯度叫衍射襯度，簡稱衍襯。
晶體試樣在進行電鏡觀察時，由于各處晶體取向不同和(或)晶體結構不同，滿足布拉格條件的程度不同，使得對應試樣下表面處有不同的衍射效果，從而在下表面形成一個隨位置而異的衍射振幅分布，這樣形成的襯度，稱為衍射襯度。這種襯度對晶體結構和取向十分敏感，當試樣中某處含有晶體缺陷時，意味著該處相對于周圍完整晶體發生了微小的取向變化，導致了缺陷處和周圍完整晶體具有不同的衍射條件，將缺陷顯示出來。可見，這種襯度對缺陷也是敏感的。基于這一點，衍襯技術被廣泛應用于研究晶體缺陷。
衍襯成像，操作上是利用單一透射束通過物鏡光欄成明場像，或利用單一衍射束通過物鏡光欄成暗場像。近似考慮，忽略雙束成像條件下電子在試樣中的吸收，明暗場像襯度是互補的。明場像和暗場像均為振幅襯度，即它們反映的是試樣下表面處透射束或衍射束的振幅大小分布，而振幅的平方可以作為強度的量度，由此便獲得了一幅通過振幅變化而形成襯度變化的圖像。