該設備主要組成部分有：測試腔、氣路與閥門控制系統、流量控制系統、測試環境（溫度和濕度）控制系統、電子測控系統、主機控制軟件。
測試腔：用以安裝試樣或者夾具
氣路及閥門控制系統：精密的管道及閥門控制系統和測試腔規定測試氣體流動路線，杜絕滲漏
流量控制系統：控制氣體按標準的流量穩定地流經測試腔的下腔和下腔；
測試環境控制系統：對測試腔的溫度和濕度進行精密控制，保證測試環境的穩定性和一致性；
電子測控系統：接收主機命令，實現對各分系統的控制、協調，采樣系統環境和氧含量數據，向主機傳輸設備狀態、測試環境和氧含量等數據；
主機控制軟件：全程監控設備的運行狀態，接收設備的測試數據，以圖形方式直觀顯示，并自動保存。測試過程全自動。測試完成后自動分析測試數據，生成和打印報表，并具備各種自動保護功能。