重大科學儀器開發專項——微納米測量儀研發獲進展

　　 日前，由上海市計量測試技術研究院全資子公司上海計測工程設備監理有限公司牽頭的國家重大科學儀器設備開發專項——“跨尺度微納米測量儀的開發和應用（2014YQ090709）”2016年度會議在該院召開。會議由國家質檢總局科技司副處長謝正文主持，國家質檢總局科技司王越薇副司長、國家科技部資配司錢小勇處長、上海市科委基地處過浩敏處長、張露璐主管、上海市質監局陸敏總工、朱晨輝處長、金國藩院士、莊松林院士、李同保院士、上海市計量測試技術研究院邵力院長以及項目組全體成員出席了會議。

　　會上，謝正文副處長通報了國家重大科學儀器設備開發專項2016年度項目中期評估結果。此次共有29個項目參加評估，本項目的中期評估綜合等第為A類，成為僅有的5個A類項目之一。與會的領導和專家都對本項目獲得如此高的評分表示祝賀！

　　項目負責人邵力向與會領導和專家介紹項目進展、展示項目成果，并匯報下一階段工作計劃與系列樣機規劃。本項目已研制高精度跨尺度微納米測量儀一臺、通用型跨尺度微納米測量儀兩臺（裝配中），性能指標及相關參數均符合科技部立項要求。并且，本項目研發儀器已在納米標準樣品的制備及檢測、超精密加工材料的微介觀結構檢測、IC晶圓的檢測、環境顆粒物質的檢測等方面展開應用。

　　參會領導、專家組、監理組和用戶委員會成員都對本項目的發展及應用前景表示樂觀，建議加強項目后續工程化、產業化工作，進一步提高儀器的穩定性和可靠性，集中1-2個較好領域研發專業化的應用軟件。

　　王越薇副司長提出，要重視知識產權的問題，通過深入挖掘真正的需求要害點、后期引入專業的市場營銷人才等手段，使中國制造的高端儀器真正走向市場。