1、按原子化方式可分：金屬元素氫化物發生原子熒光光譜儀和金屬元素冷原子熒光光譜儀等。
2、按原子化溫度可分：金屬元素高溫原子熒光光譜儀和金屬元素低溫原子熒光光譜儀。
3、按分析靈敏度可分：微量金屬元素原子熒光光譜儀和痕量金屬元素原子熒光光譜儀。
4、按分析特征可分：高選擇性金屬元素原子熒光光譜儀和高靈敏度金屬元素原子熒光光譜儀。
5、按原子化能量可分：金屬元素熱原子熒光光譜儀和金屬元素冷原子熒光光譜儀。
6、按進樣自動性可分：自動進樣金屬元素原子熒光光譜儀和手動進樣金屬元素原子熒光光譜儀。
