集成光學元器件的工藝技術主要涉及成膜與光路微加工。
通常采用外延、質子轟擊、離子注入、固態擴散、離子交換、高頻濺射、真空蒸發、等離子聚合等作為成膜工藝；
采用光刻、電子束曝光、全息曝光、同步輻射、光鎖定、化學刻蝕、濺射刻蝕(離子銑)、反應離子刻蝕作為光路微加工技術。另外，高速脈沖技術，則是測試及在應用中不可缺少的手段。
