德國默克公司和美國美光科技公司 8 月 4 日宣布,兩家公司將合作開發氣體解決方案,以減少芯片生產中的碳排放。
美光現在正在測試默克研究部門的一種替代性低全球變暖潛能值 (GWP) 蝕刻氣體,以驗證其工藝性能,以取代傳統的高 GWP 材料。
兩家公司指出,雙向合作旨在尋找新的、更可持續的氣體解決方案,以便在未來永久引入半導體生產。
“可持續發展需要合作。我們絕不能孤立地思考或僅僅將自己限制在我們的公司范圍內。整個價值鏈都被要求探索新的聯合路徑,以便共同實現更多目標,”默克執行董事會成員凱貝克曼說。
“和默克一樣,美光也為自己設定了雄心勃勃的可持續發展目標。我們很高興能夠為他們的成功做出貢獻。”
美光公司副總裁 John Whitman 表示,其目標是到 2030 年將其全球業務的排放量從 2020 年的水平減少 42%。
“我們采取多方面的方法來實現我們的凈零運營承諾。這包括投資先進的減排系統,優先使用具有較低全球變暖潛力的氣體,采購節能設備,以及購買可再生能源而不是化石燃料產生的能源,”他說。
“我們很高興在默克有一個創新的合作伙伴來幫助我們實現這些目標。”
這不是這兩家全球科技巨頭第一次聯手。
他們正在努力尋找新材料來替代用于干法蝕刻和腔室清潔應用的具有高全球變暖潛力的各種蝕刻氣體。
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