檢波器
檢波器將輸入信號功率轉換為輸出視頻電壓，該電壓值對應輸入信號功率。
針對不同特性輸入信號（正弦信號、噪音信號、隨機調制信號等），需采用不同檢波方式才能準確測出該信號功率。
現代頻譜儀一般采用數字技術，支持所有檢波方式以確保準確測量各種被測信號的功率參數。
視頻濾波器
視頻濾波器對檢波器輸出視頻信號進行低通濾波處理，減小視頻帶寬可對頻譜顯示中的噪聲抖動進行平滑，從而減小顯示噪聲的抖動范圍。這樣有利頻譜儀發現淹沒在噪聲中的小功率CW信號，還可提高測量的可重復性。
掃描本振
掃描本振是整個頻譜分析儀中的關鍵部分之一，掃描本振的穩定度和頻譜純度對許多性能指標都是一個限制因素。本振的穩定度影響最小分辨帶寬，但是，即使利用頻率很穩定的本振，仍然存在殘余的不穩定度，這稱之為相位噪聲或相位噪聲邊帶。相位噪聲影響對鄰近信號的觀察，而如果我們只考慮帶寬和形狀因素，是不難觀察到的。現代頻譜分析儀的應用之一是直接測量其他設備的相位噪聲，這對本振的相位噪聲要求是非常高的。