目的和原理:現場安裝完畢以后對高效過濾器進行檢漏是檢查高效過濾器及配套的靜壓箱是否有泄漏或泄漏是否在規范允許的范圍之內。如果高效過濾器裝置經檢漏是合格的，可以確保潔凈室的安全可靠的運行，此時室內潔凈度仍未達標，應從潔凈室的其它方面查找原因。
在被檢測高效過濾器上風側發PAO氣溶膠作為塵源，在下風側用光度計采樣檢測，含塵氣體經過光度計時產生的散射光經光電效應和線性放大轉換為電量，并由微安表快速顯示，采集到的空氣樣品通過光度計的擴散室，由于粒子擴散引起燈光強度的差異，經測定這個光強度，光度計便可測得氣溶膠的相對濃度。