壓力測量中，除極少數直接測量外，絕大多數是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現象，然后再測量這一過程中與壓力有關的物理量，進而設法確定壓力值。這是真空測量的特點，亦會造成某些問題。
任何具體物理現象與壓力的關系，都是在某一壓力范圍內才好，超出這個范圍，關系變得弱了。因此，任何方法都有其一定的測量范圍，這個范圍就是高精度薄膜真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程，是真空科學研究的重要內容之一。近代真空技術所涉及到的壓力范圍寬達19個數級(105～10-14pa)，沒有任何一種高精度薄膜真空計能測量如此寬的壓力范圍，因此總是用幾種高精度薄膜真空計分別管轄一定的區域。但由于各種高精度薄膜真空計在原理上的差異．在相互銜接的區域，往往要造成較大的誤差。
在被測空間引起一定物理現象，還會出現這樣的問題，即從測量的角度出發，本需要一種單純的物理現象，但有時卻不可避免地帶來一系列寄生現象，這些寄生現象不但給測量量帶來誤差，有時還會“喧賓奪主”，完全把主要現象掩蓋住了。
由上觀之，為改善高精度薄膜真空計性能及提高真空測量準確度，必須突出主要現象，抑制寄生現象。表1給出一些高精度薄膜真空計的壓力測量范圍。
表1 一些高精度薄膜真空計的壓力測量范圍
名稱 測量范圍(Pa) 真空計名稱 測量范圍(Pa)
水銀U型管 105～10
高真空電離真空計 10-1～10-5
油U型管 104～1
高壓力電離真空計 102～10-4
光干涉油微壓計 1～10-2
B-A計 10-1～10-8
壓縮式真空計(一般型) 10-1～10-3
寬量程電離真空計 10～10-8
壓縮式真空計(特殊型) 10-1～10-5
放射性電離真空計 105～10-1
彈性變形真空計 105～102
冷陰極磁放電真空計 1～10-5
薄膜真空計 105～10-2
磁控管型電離真空計 10-2～10-11
振膜真空計 105～10-2
熱輻射真空計 10-1～10-5
熱傳導真空計(一般型) 102～10-1
分壓力真空計 10-1～10-14
熱傳導真空計(對流型) 105～10-1
真空測量特點
(1)測量壓力范圍寬，105～lO-14Pa。
(2)大部分高精度薄膜真空計是間接測量，只有壓力為105～lOPa時，可直接測單位面積所受的力。但大多數真空測量的壓力遠比上述為小，不能直接測量，應利用低壓下氣體的某些特性(如熱傳導、粘滯性和電離等)進行間接測量。
(3)多采用非電量電測技術。
(4)大部分高精度薄膜真空計的讀數與氣體種類和成分有關。所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分．否則會造成很大誤差。
(5)測量精度不高。
選擇高精度薄膜真空計原則
(1)在要求的壓力區域內有要求的精度。
(2)被測氣體是否會損傷高精度薄膜真空計；高精度薄膜真空計可否會給被測氣體狀態帶來影響。
(3)能測全壓力嗎?可校準嗎?靈敏度與氣體種類有關否。
(4)可否連續指示、電氣指示以及反應時間長短。
(5)穩定性、復現性、可靠性和壽命如何。
(6)還要看高精度薄膜真空計的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場有無銷售、購買的難易程度和規格如何。
除上述應考慮的問題外，還要查閱參考書、樣本或直接向生產工廠詢問。