| 儀器名稱： | 12寸手動探針臺-MPI TS300 |
| 儀器編號： | 23030634 |
| 產地： | 中國臺灣 |
| 生產廠家： | MPI |
| 型號： | TS300 |
| 出廠日期： | |
| 購置日期： | 2023-12-19 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>高精尖 |
| 放置地點： | 荷清大廈（潤澤大廈） A座一層實驗室C101 |
| 固定電話： | 62799552-1168 |
| 固定手機： | 15210967285 |
| 固定email： | jtyang@mail.tinghua.edu.cn |
| 聯系人： | 楊建濤（010-61453947,15210967285,jtyang@mail.tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 集成電路 |
| 技術指標： | XY軸大范圍驅動方式：氣浮式360°單手驅動 XY軸移動范圍：330 x 420 mm XY<span style="font-size |
| 知名用戶： | 錢鶴 唐建石 孫楠 |
| 技術團隊： | 測試工作由實驗室資深的工程師或者技術人員進行操作和支援 |
| 功能特色： | 可用于一般數字電路的研究，可以支持12寸及以下尺寸（4/6/8寸）晶圓的直流性能測試；可以支持探卡和探針；可以支持20℃~200℃。 連接晶圓與儀表，配合直流性能測試 |
項目名稱計價單位費用類別價格備注12寸手動探針臺測試費元/小時自主上機機時費140.0
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