4月14日,“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項“300mm晶圓勻膠顯影設備研發”任務圓滿完成,突破了193nm光刻工藝超薄膠膜均勻涂敷等多項關鍵核心技術,成功研制出具有自主知識產權的300mm晶圓勻膠顯影設備考核測試機和上線示范應用機,并在項目實施期間銷售5臺勻膠顯影設備。標志著我國前道芯片制程領域用涂膠顯影設備的國產化又邁出了重要的一步,不僅填補了國內技術空白、打破國外長期壟斷,也為我國前道芯片制程涂膠顯影設備進入前段市場打開了突破口。
據研發人員介紹,“該項目成果產品的成功應用,將大大降低客戶采購成本和對國外設備的依賴性,價格較國外同類產品低20%到30%,企業獲得的售后技術支持也更加給力。” 目前,該項目共性技術可成功輻射應用于高端封裝、LED等技術設備領域,對該類設備產能和穩定性具有極大的提升作用。
京津冀環境綜合治理國家科技重大專項關于項目評審專家不良行為處理結果的通報經生態環境部審定,對京津冀環境綜合治理國家科技重大專項(以下簡稱京津冀重大專項)2025、2026年度項目立項評審專家不良行為進......
4月10日,中國科學院在懷機構教育科技人才一體發展工作推進會在中國科學院大學(以下簡稱國科大)交叉學科中心舉行。中國科學院副院長、黨組成員,國科大黨委書記、校長周琪出席會議并講話。中國科學院黨組成員、......
關于征求2026年度“人工智能”等4個重大專項申報指南意見的通知各有關單位:為推動科技創新和產業創新深度融合,加快推進我市重點產業行業科技創新,經前期技術需求征集、指南凝練、專家論證,我局組織編制形成......
在今年全國兩會的“部長通道”上,科技部部長陰和俊帶來一組關鍵數據:2025年,我國基礎研究投入接近2800億元,占全社會研發投入的比重首次突破7%,創下歷史新高。政府工作報告也明確提出,要加強原始創新......
春節期間,一個科技話題持續升溫——人形機器人。從春晚舞臺到科技論壇再到資本市場討論,人形機器人受到的關注度不斷攀升。隨著具身智能技術加速發展,人形機器人正逐漸從實驗室走向現實應用場景。與此同時,圍繞這......
國家自然科學基金委員會關于發布“腦科學與類腦研究”國家科技重大專項2026年度項目申報指南的通知各省、自治區、直轄市及計劃單列市科技廳(委、局),新疆生產建設兵團科技局,國務院各有關部門,各有關單位:......
工業和信息化部科技部住房城鄉建設部市場監管總局國家知識產權局關于印發科技服務業標準體系建設指南(2025版)的通知工信部聯科〔2026〕15號各省、自治區、直轄市及計劃單列市、新疆生產建設兵團工業和信......
市場監管總局關于停止科技成果轉化基地相關工作的通知北京市、天津市、上海市、江蘇省、浙江省、福建省、山東省、河南省、湖南省、廣東省、貴州省、云南省市場監管局(委),計量院、質檢院、特檢院,中國計量大學:......
12月3日,2025年度山東省科學技術獎勵委員會會議在濟南召開,省科技獎勵委員會主任委員、省科技廳黨組書記、廳長孫海生主持會議并講話。省科技獎勵委員會委員、監督委員會主任委員參加會議。會議聽取了202......
22日,十四屆全國人大常委會第十九次會議聽取國務院關于促進科技成果轉化工作情況的報告(以下簡稱“報告”)。報告顯示,“十四五”以來,我國深化科技成果轉化機制改革,完善政策支持和市場服務,科技成果轉化實......