3260萬！嘉庚創新實驗室2023年02月至03月政府采購意向

采購內容：X射線吸收譜儀

采購數量：1套

主要功能或目標：X射線吸收譜(XAS)是一種強大的物理化學狀態分析技術，可提供材料的氧化態、鍵長、配位環境等關鍵微觀信息，廣泛應用于催化、電化學能源和半導體器件等領域。同時，可結合原位監測技術追蹤催化過程中催化劑氧化態及結構的變化，及電池充放電循環過程中電極材料氧化態及結構的變化。結合XAS和X射線光電子能譜（XPS）技術，能從實驗上給出半導體等材料的電子結構信息，從而指導器件設計。

需滿足的要求：1、EXAFS 能量分辨率0.5-1.5 eV2、 寬覆蓋能量范圍：5 keV - 18 keV； 光子通量: >3x10^5 photons/sec/eV。3.XAFS模式重復性：＜50 meV 能量尺度漂移。4.XES模式能量分辨率：1.0 -1.5 eV (7-9 keV) 等詳見招標文件。

采購內容：高真空有機金屬蒸發鍍膜系統

采購數量：1套

主要功能或目標：可用于在玻璃基板（基板尺寸至少支持1200*1200mm）表面沉積金屬、有機物、無機物等薄膜，傳輸系統為臥式1200mm。

需滿足的要求：1.真空極限： 2.0×10-5Pa；漏率： 5×10－8Pa*L/S； 2.基片臺：抽屜式結構，氣動基片大擋板。樣品臺可加熱（0-300℃，±1℃）。基片與蒸發源距離可調，電機升降調節范圍 380～280mm 可調；3.蒸發源及電源：配備蒸發源 (最高溫度 1500 ℃）；具有恒流和恒壓二種可切換驅動模式的蒸發電源。有機蒸發束源爐及真空有機蒸發電源；

采購內容：鈣鈦礦 P1P2P3 激光劃刻設備

采購數量：1套

主要功能或目標：用于鈣鈦礦太陽能電池導電層 TCO 層、鈣鈦礦吸收層及電極層刻線。

需滿足的要求：1.整套設備需支持厚度在 2.5-3.5 之間的 1200*1000 mm 電池片激光劃刻；2.整套系統包含上下料傳送系統和激光劃刻系統，其中 P1 激光劃刻為紅外納秒，P2P3 劃刻為綠光皮秒；3. P1/P2/P3 劃刻線寬分別應為 ~30/40/40 um。

采購內容：用于氧化物透明導電電極的低溫蒸鍍

采購數量：1套

主要功能或目標：用于氧化物透明導電電極的低溫蒸鍍。支持多種氧化物在低溫狀態下完成精密度較高，可控度較高的蒸鍍。

需滿足的要求：1. 整套系統含真空系統、等離子鍍膜產生系統、電氣控制系統、上/下料站所組成，以完成對基板的單面鍍膜；2. 支持蒸鍍面積300x300x3.2 mm；3. 蒸鍍材料ITO/IWO等，基片蒸鍍表面溫度≤100°C，100nm時表面透光率≥88%；4.膜厚均勻性≤5%，100nm厚度時表面方阻≤50Ω/□；5. 單片蒸鍍節拍時長≤320S(@IWO膜厚100nm)。詳見招標文件。

采購內容：高分辨X射線衍射儀

采購數量：1套

主要功能或目標：該X射線衍射儀主要用于氮化物LED外延晶圓的結構質量表征和殘余應力分析，測量的內容包括：theta/2theta, Omega/rocking curve, 快速RSM, Phi-scan 和 XRR。

需滿足的要求：需要滿足6英寸樣品的測量，同時可以測量8英寸樣品；要配備自動對準和自動測量功能，并根據模型完成數據的擬合分析；X光管功率：1.8kW，測角儀最小步長：0.0001度，樣品臺：chi -5~55度，Phi 360度，XY軸 -50~50mm，Z軸 10mm

采購內容：PL-Mapping 光致發光光譜儀

采購數量：1套

主要功能或目標：用于LED外延片光致發光測量的光譜儀，主要實現6寸Wafer全Mapping功能，可Mapping參數需要包括：波長、波長半波寬、發光強度、外延厚度、翹曲。

需滿足的要求：主要技術參數需要有375nm、532nm等激光器，需要可激發量測藍光到紅光LED波段；單色儀, 至少兩個光柵，300~1200nm；光譜探測器范圍200~1000nm，解析度/pixel：0.13nm，可重復性(nm)：+/-0.52nm；厚度量測需要可Mapping，準確性差異<2%；翹曲(Bow)量測解析度: 0.1mm ~ 5mm。