MEMS科學研究開始逐漸棄用硅材料
自1984年以來，“固態傳感器、執行器及微系統研討會”（The Solid State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop）一直都是最高水平MEMS新技術的展示舞臺。該國際研討會是MEMS領域最具競爭力的會議之一，眾多提交的參會文摘中，只有10%的論文能夠榮幸獲得演講機會。 該研討會是窺視未來商業化產品的窗口。例如，早期的研討會上出現了許多關于MEMS加速度計和陀螺儀的論文，不久這些產品就逐漸在市場上占據主導地位。固態傳感器、執行器及微系統研討會中硅基器件演講論文的比例 麥姆斯咨詢報道，在近些年的固態傳感器、執行器及微系統研討會上，出現了令硅材料從業者感到不安的趨勢——關于硅材料技術的論文數量逐漸降低。在2016年6月的研討會上，僅有53%的演講論文是關于硅材料器件的（只要器件中包含了硅材料，無論是作為被動基底還是活性材料）。 從過去12年來的演講主題可以清晰的看出......閱讀全文
MEMS科學研究開始逐漸棄用硅材料
自1984年以來，“固態傳感器、執行器及微系統研討會”（The Solid State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop）一直都是最高水平MEMS新技術的展示舞臺。該國際研討會是MEMS領域最具競爭力的會議之一，眾多提交的參會文摘中，只有1
MEMS氣體傳感器的設計與工藝
目前，氣體傳感器的應用日趨廣泛，在物聯網等泛在應用的推動下，其技術發展方向開始向小型化、集成化、模塊化、智能化方向發展。具有代表性的基于金屬氧化物半導體敏感材料(MOS)氣體傳感器已廣泛應用于安全、環境、樓宇控制等領域的氣體檢測，該類傳感器的能耗是制約其大規模布設的核心節點，MEMS技術為解決MOS
汽車傳感器的發展趨勢
未來的汽車傳感器技術的發展趨勢是微型化、多功能化、集成化和智能化。 20世紀末期，設計技術、材料技術，特別是Mems （微電子機械系統）技術的發展使微型傳感器提高到了一個新的水平，利用微電子機械加工技術將微米級的敏感元件、信號處理器、數據處理裝置封裝在同一芯片上，它具有體積小、價格便宜、可靠性
MEMS技術在海洋觀測中的應用（四）
⒊ 基于MEMS的慣性傳感器慣性（加速度）傳感器是一種技術比較成熟，應用比較廣泛的MEMS傳感器，主要應用于波浪觀測。目前國內外波浪測量浮標通常采用傳統的加速度傳感器，這些傳感器體積大、重量重、價格昂貴，從而使浮標的制作成本增加。近年來，隨著基于MEMS的慣性傳感器的技術逐漸成熟，MEMS慣
MEMS技術在海洋觀測中的應用（一）
微機電系統（MEMS），在歐洲也被稱為微系統技術，或在日本被稱為微機械，是一類器件，其特點是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS是指采用微機械加工技術批量制作的、集微型傳感器、微型機構、微型執行器以及信號處理和控制電路、接口、通訊等于一體的微型器件或微型系統。MEMS器件的特征長度從1毫米到1微米--1
傳感器的常見類型有哪些
2020年最xin的傳感器，包括用于物聯網和可穿戴設備的傳感器，它們將很快改變電子行業。不論是檢測病人蛋白質水平的無聲心臟病檢測器，還是警告糾正乘員坐姿錯誤的椅子，這兩種創新方案都是近期發明的。而傳感器在電子設備中起著至關重要的作用。事實上，隨著科學技術的進步，傳感器的應用也在不斷擴展。
基于MEMS磁傳感器設計及制作（一）
由于磁性傳感技術不會受到灰塵、污垢、油脂、振動以及濕度的影響，因此磁傳感器在工業設備和電子儀器中有著廣泛的應用，如磁共振成像、生產的自動控制、流程工業、煤礦勘探、電流測量、缺陷定位和鐵磁材料剩余應力檢測等方面。為了滿足不同場合的應用，已根據不同傳感原理制備了相應的磁傳感器，常見的有超導量子干涉裝置（
密度傳感器特點分清楚
傳感器的特點包括:微型化、數字化、智能化、多功能化、系統化、網絡化，它不僅促進了傳統產業的改造和更新換代，而且還可能建立新型工業，從而成為21世紀新的經濟增長點。微型化是建立在微電子機械系統(MEMS)技術基礎上的，已成功應用在硅器件上做成硅壓力傳感器。 ●采用一體化結構，無活動
密度傳感器特點分清楚
傳感器的特點包括:微型化、數字化、智能化、多功能化、系統化、網絡化，它不僅促進了傳統產業的改造和更新換代，而且還可能建立新型工業，從而成為21世紀新的經濟增長點。微型化是建立在微電子機械系統(MEMS)技術基礎上的，已成功應用在硅器件上做成硅壓力傳感器。 ●采用一體化結構，無活動部件維護
電容式壓力傳感器的特點
電容壓力傳感器是以硅材料為基礎，采用電容原理，即利用電容極間距變化將壓力轉換為電容變化，由MEMS工藝制作的傳感器。硅電容壓力傳感器特點如下： 適合批量生產，成本低 硅電容壓力傳感器利用MEMS工藝制作，芯片尺寸為3mm×3mm，一個4寸硅片可制作幾百個元件。產品的工藝性好，性能一致，適合批
固態激光雷達工作原理
固態激光雷達主要是依靠波的反射或接收來探測目標的特性，大多源自三維圖像傳感器的研究，實際源自紅外焦平面成像儀，焦平面探測器的焦平面上排列著感光元件陣列，從無限遠處發射的紅外線經過光學系統成像在系統焦平面的這些感光元件上，探測器將接受到光信號轉換為電信號并進行積分放大、采樣保持，通過輸出緩沖和多路傳輸
大氣壓力傳感器的設計與制造
大氣壓力傳感器在工業生產、氣象預報、氣候分析、環境監測、航空航天等方面發揮著不可替代的作用。傳統的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術不僅可以解決上述缺點，還能極大地降低成本，而性能更為優異。如今基于MEMS技術得到廣泛應用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩
硅基MEMS制造技術檢測方法國際提案介紹
1. 提案背景MEMS是指用微電子技術和微加工技術相結合的工藝，制造出各種性能優異、價格低廉、微型化的傳感器、執行器、驅動器和微系統。MEMS已經步入我們生活的很多方面，包括汽車電子、消費電子以及醫療等領域。例如，在消費電子領域，蘋果公司頗有想象力地使用MEMS加速度計來支持iPhone顯示
可控硅器件的概念
晶閘管又叫可控硅(Silicon Controlled?Rectifier, SCR)。自從20世紀50年代問世以來已經發展成了一個大的家族，它的主要成員有單向晶閘管、雙向晶閘管、光控晶閘管、逆導晶閘管、可關斷晶閘管、快速晶閘管，等等。 可控硅器件是一種非常重要的功率器件，可用來做高電壓和高電
固態電子器件的歷史發展
固態電子器件是20世紀40年代發展起來的一類器件，但就其研究工作來說，可追溯到19世紀。1833年，M.法拉第最早發現硫化銀的電導率隨溫度升高而上升，這和一般的金屬導體的性質正好相反。1833年，W.史密斯發現在光照下硒的電導率會改變，這是第一次發現半導體的光電導效應。一年以后，K.F.布勞恩發
固態電子器件的未來展望
固態電子器件的理論基礎是固體物理，技術基礎是材料科學。30年代固體電子論的進展和40～50年代鍺、硅材料工藝的進展，奠定了后半個世紀固態電子器件飛速發展的基礎。Ⅲ、Ⅴ族化合物半導體材料，尤其是砷化鎵材料工藝日趨成熟，新的固態電子器件隨著材料質量的提高和對材料物理的深入研究而不斷出現。在微波晶體管
分析儀器和傳感器朝向智能化方向發展
我國分析儀器和傳感器產品，已經加大力度朝向智能化、信息化、網絡化方向發展，以實現更靈敏、更準確、更快速、更可靠地實時檢測。 分析儀器是我國科技、經濟和社會持續發展的基礎，無論在工業過程控制、設施農業、生物醫學、環境控制、食品安全乃至航空航天、國防工程等領域，均迫切需要各類新型傳感器作為信息攝取
激光雷達的行業趨勢
市場需求：L3級以上無人駕駛的必備傳感器激光雷達是高精度的傳感器，但是有與過于昂貴，無人駕駛業界對激光雷達的存廢之爭一直沒有停止過。非激光雷達陣營主要是以特斯拉為代表的的傳統車企，他們傾向于漸進式路線，從ADAS輔助駕駛逐漸升級過度到自動駕駛，以端到端的深度學習砍掉傳統的激光雷＝雷達，激光雷大陣營主
固態激光雷達原理和工作優劣
固態激光雷達原理和工作優劣，說到雷達就是一個信息傳送的裝置，但是固態激光雷達就是現代可以關鍵的傳感技術，在現在5G時代,無人機，無人駕駛的車和智慧城市都需要推動著作用，因為傳感器就是他們的眼睛了，在5G的大時代一定是前途光明!小編就帶大家一起了解固態激光雷達原理了。固態激光雷達是什么？固態激光雷達是
HYDAC傳感器在各行業中的作用
人們為了從外界獲取信息，必須借助于感覺器官而單靠人們自身的感覺器官，在研究自然現象和規律以及生產活動中它們的功能就遠遠不夠了。為適應這種情況，就需要傳感器。因此可以說，傳感器是人類五官的延長，又稱之為電五官。在現代工業生產尤其是自動化生產過程中，要用各種傳感器來監視和控制生產過程中的各個參數，使
高性能氣敏器件宏量制作及其生化戰劑檢測應用獲進展
近期，中國科學院合肥物質科學研究院固體物理研究所微納技術與器件研究室的微納氣體傳感器研究團隊在高性能氣敏器件的宏量制作及其生化戰劑檢測應用研究方面取得了新進展，相關研究成果已發表在國際期刊《化學通訊》和《科學報告》上 。 半導體氧化物電阻型薄膜氣體傳感器，由于其成本低廉、制作簡單及使
國家863計劃“6英寸SOI－MEMS標準加工技術及應用”驗收
4月9日，中國電子科技集團公司第十三研究所承擔的863計劃先進制造技術領域項目“6英寸SOI MEMS標準加工技術及在高性能MEMS器件中的應用”通過科技部組織的專家驗收。驗收會由科技部高技術研究發展中心組織，來自東南大學、北京大學、北京理工大學、同濟大學、中北大學、長春光機所的相關專家參加了
可穿戴汗液傳感器－可進行運動中電解質離子實施監測
人體汗液中富含大量潛在的與健康和疾病相關的標志物，相比較常規的血液和尿液檢測，其具有非侵入（Non-invasive）和實時連續監測等優勢，因此可穿戴汗液傳感器的研究成為可穿戴健康電子設備領域發展的重點之一。微型化、集成化的全固態離子選擇性電極和全固態參比電極，是檢測汗液中電解質離子濃度的核心傳
人物專輯：葛文勛教授
2017年4月12日是葛文勛先生94歲生日（Prof. Wen H Ko），恰好4月北大張海霞教授去美國參加IEEE NEMS2017國際會議，再次拜訪了葛先生夫婦，有幸看到2014年凱斯西儲大學（Case Western ReserveUniversity，CWRU）校友會授予葛先生功勛獎時的
2021世界傳感器大會|MEMS與智能傳感器技術專場在鄭召開！
11月1日，MEMS與智能傳感器技術專場活動在鄭州國際會展中心成功召開。本次論壇邀請了眾多權威學者，他們針對智能傳感器行業發展存在的突出問題及薄弱環節，還有我國MEMS與智能傳感器技術的核心競爭力進行了深度探討。會議現場照片 本次會議由中國科學技術協會、河南省人民政府作為主辦單位，中國儀器儀表
顯微鏡下確定MEMS傳感器的不精確的材料特性
不精確的材料特性 新型材料在MEMS傳感器器件已經顯示其巨大的潛力。但是，薄膜材料比本體材料更能展示出不同的特性。尤其使用聚合物時，如楊氏模量、線性度、磁滯現象等機械性能嚴重依賴于工藝參數。不精確或者是不理想的材料特性可能會降低器件性能，甚至導致器件失效。 常見的檢查方法/設備: 探針臺（針
智能傳感器技術特點及發展趨勢
隨著物聯網、移動互聯網等新興產業的快速發展，智能傳感器的市場份額將以約36％的年均復合增長率（CAGR）增長，預計在2020年達到104.6億美元。智能傳感器由傳感元件、信號調理電路、控制器（或處理器）組成，具有數據采集、轉換、分析甚至決策功能。智能化可提升傳感器的精度，降 低 功耗和體積，實現
壓電傳感器原理及應用（二）
二、壓電MEMS傳感器1、壓電MEMS噴墨打印頭噴墨打印為個人文檔打印提供了靈活、經濟的解決方案，目前仍在家庭和小型辦公環境中大量應用。同時，CAD和圖形藝術應用的大型寬幅打印將噴墨打印作為單次打印和小批量打印的技術選擇。MEMS技術為之帶來了“誘人”的解決方案：每個噴墨打印頭擁有更高的噴嘴
微型光照傳感器
本產品是一款用于微弱光環境光線強度測量傳感器，可安裝在對傳感器安裝位置有限的地方，也可安裝在環境濕度較大或水下測量光線強度。傳感器內部采用了目前光照采集方面靈敏度最高的數字環境光強度傳感器件，擁有靈敏度高，響應迅速等諸多優點。接近視覺靈敏度的光譜靈敏度特性，峰值靈敏度波長典型值:560nm，受紅
2021年全球MEMS傳感器市場規模將達396.9億美元
MEMS 傳感器是隨著納米技術的發展而興起的新型傳感器，具有很多新的特性，相對傳統傳感器其具有更大的優勢。在追求微型化的當代，其具有良好的發展前景，必將受到各個國家越來越多的重視。 MEMS 傳感器歷經四次商業化浪潮 MEMS 傳感器的發展離不開MEMS 技術商業化的推動。1987 年，美國