AFM的Contact模式

a）點擊實驗方案選擇圖標 ，打開實驗方案選擇；

b）選擇實驗具體模式，Contact Mode；

c）選擇實驗環境，Air；d）進入實驗界面；e

）根據上面提到的步驟，調整激光，并將Head靠近樣品表面以看清樣品；

f）點擊“Check Parameters”圖標，進入實驗參數設置；

g）設定以下掃描參數：Scan size小于1 um，X offset和 Y offset設為 0，Scan angle 設為0；

h）點擊Engage 進針；

i）進針結束開始掃圖。將 Scan size 設置成要掃的形貌大小；

j）觀察 Height Sensor 圖中觀察 Trace和Retrace 兩條曲線的重合情況；

k）優化 Integral gain和 Proportional gain。一般的調節方法為：增大Integral gain，使Trace和Retrace曲線開始震蕩，然后減小 Integral gain直到震蕩消失，接下來用相同的辦法來調節 Proportional gain。通過調節增益來使兩條掃描線基本重合并且沒有震蕩；

l）優化Setpoint。在Contact模式中，調節Deflection setpoint直到Trace和Retrace兩條掃描線基本一致；

m）調節掃描范圍和掃描速率。隨著掃描范圍的增大，掃描速率必須相應降低。大的掃描速率會減少漂移現象，但一般只用于掃描小范圍的很平的表面；

n）如果樣品很平，可以適當減小Z Range的數值，這將提高Z方向的分辨率。

2.8 存圖。對掃描圖像存圖，通過可以設置文件名及存圖路徑。

2.9 退針。點擊Withdraw，退針。

2.10 關機

a）關閉Nanoscope 軟件；

b）關閉Nanoscope 控制器；

c）關閉Dimension Stage控制器；

d）關閉計算機和顯示器。