阿爾卡特 作者：劉朝暉
（1） 每月檢查機械泵油位，如果油位低于或快接近油位下限時，須添加機械泵油；如果油呈棕色、褐色，或聞起來有異味，說明油已變質。應將油放盡后，暫時將放油塞擰上，讓泵在進氣口打開的狀態下運轉約10s， 將留在機械泵循環通路中的油也放出，再擰開放油塞，放出殘留的油。必要時，先用新油沖洗一遍，再加入新油。
（2） 每3 個月更換機械泵油。檢查油霧過濾器，若被油浸透，應更換。
在對離子源作維護之前， 必須將檢漏儀的主電源插頭拔下。
（1） 拆卸VHS放大器。將VHS放大器和離子源的電源接頭卸下， 用內六角扳子擰下兩個緊固螺釘， 拆下VHS 放大器，將VHS 放大器頭朝下，放置在清潔處，注意防塵。
（2） 清洗離子源底座。擰下6個螺釘，然后小心地把底座法蘭垂直地提起來，接著用酒精清洗密封面。完成以上工作后，立即用密封圈專用模具將離子源開口蓋住。
（3） 取下燈絲。拆下3 個緊固螺釘，取下燈絲。
（4） 拆下收集極。只要將兩個緊固螺釘取下即可。
（5） 換新燈絲和收集極。先將收集極用兩個緊固螺釘固定在離子源座上（ 不要將螺釘擰緊） 。接著將新燈絲的兩個接頭插入接線柱內，此時不要擰緊兩個連接螺釘。
（6） 部件的調整。燈絲織支撐架的兩個安裝面和其支撐座兩個安裝面緊貼上，擰緊緊固螺釘。調節收集極，使燈絲在左右方向位于收集極的中心（收集極開口兩邊應有同樣的圈數） ;繼續調整收集極，使燈絲在垂直方向平行于收集極的開口，且處于開口的中央。擰緊收集極的兩個緊固螺釘。擰緊燈絲的兩個連接螺釘。
（7） 安裝離子源和VHS放大器。仔細檢查離子源的導向塊上不要粘有其他物體，小心地將導向塊慢慢地放入質譜室腔中，均勻擰緊6個螺釘即可。將VHS放大器仔細放在密封面上，均勻擰緊兩個螺釘。最后，將VHS放大器和離子源的電線連接好。VHS 放大器、離子源等部件，對任何形式的污染及灰塵都十分敏感，在維護過程中必須特別注意。
此維護過程每6個月進行一次。潤滑脂注入器上帶有一個黑色夾子和一個紅色夾子， 這些夾子是用來確定注入軸承的油脂用量的。
（1） 潤滑前端軸承。將注入器插入螺釘孔，直到無法插入為止，按下注入器手柄直到其在夾子的紅色標記處停止。
（2） 潤滑后端軸承。將紅色夾子取下，把油脂（紅色夾子寬度） 分別均勻地注入兩個注入孔（ 兩個對稱的通孔） 中。
（3） 讓軸承中潤滑脂分布均勻。將分子泵電源板CD2 上的開關SW1 扳向“ R”位置，開機讓泵運轉約10min，然后關機。再將開關扳向“ N”位置。改變SW1 的位置時，均要求在不帶電的情況下進行。
標定周期為兩年。使用標準漏孔可以使檢漏儀自動校準。當開機時，校準就自動進行，或在操作面板上按下AUTOCAL 鍵，也能達到校準的目的。
（1） 拆下內部校正漏孔。關閉檢漏儀，拔下主電源；打開前面板；卸下溫度傳感器上的連接插頭（3 針插頭） ；拆下法蘭的連接卡箍，取下漏孔。將漏孔送計量室計量。
（2） 待漏孔計量結束后，安裝校正漏孔，連接好法蘭卡箍和傳感器插頭。
（3） 設置新的漏率。修改主電路板（ 固定于前蓋板上） 上3個可調旋鈕的位置，就可以完成此項工作。如：漏孔標簽上漏率在20℃時為1.5×10-9MPa·L/s， 可以這樣設定3個按鈕，S4為1，S3為5，2為7， 同時檢查S1 是否置于OFF 位置， 當置于OFF 位置，位于S1 旁邊的紅燈熄滅，內部漏孔就可以使用了。內部漏孔的漏率必須在1×10-10～8×10-8MPa·L/s 之間。
（4） 關上前蓋板，擰上4 個螺釘；插上主電源插頭；開啟檢漏儀，在檢漏儀完全啟動后，自動校準就會自動進行。
（1） 打開檢漏儀。關閉檢漏儀主電源，將前蓋板打開。
（2） 計算外部標準校準漏孔的正確漏率。根據環境溫度和標定此漏孔的時間長短，來計算此漏孔的漏率值。如：外部漏孔的標定漏率值是1.1×10-9MPa·L/s (He)， 在20℃時于2005 年2月標定的。現在環境溫度為25℃，溫度影響系數為3%/℃，時間系數為2%/a。因此，此漏孔在2006 年1 月，環境溫度為25℃時的漏率，就可以計算出來，即1.1×10-9（ 1+0.03×5）（ 1-0.02×1） =1.2×10-9MPa 。
（3） 輸入外部漏孔的漏率值：在主板的3 個旋鈕（ 像輸入內部漏孔值一樣） ，調整3 個旋鈕的位置，以得到正確的漏率值。例如S4 為1，S3 為2，S2 為7 表示1.2×10-9MPa·L/s 的漏率。同時將主板開關S1 置為ON 位，其旁邊的紅色指示燈亮，此時外部漏孔就可以使用了。注意：此時內部自動校準無法使用；儀器啟動時，自動校準不再進行；只有外部漏孔可以自動進行校準，當檢漏儀在測試狀態時，按下AUTOCAL鍵即可進行。
（4） 重新開啟檢漏儀。
（5） 測試。把外部校準漏孔連接到檢漏口上，按下測試鍵，等幾分鐘，讓信號穩定。
（6） 校準過程。當氦信號穩定后，按下操作面板上的AUTOCAL鍵，鍵上的紅色指示燈亮并閃爍，外部自動校準開始。當外部自動校準完成后，可停止檢測，取下漏孔之后，檢漏儀就可以正常使用了。如外部自動校準無效，AUTOCAL 鍵上的紅燈亮，以前存儲之值仍然保留，檢漏儀可以繼續使用。